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文章概述：1. 数字多用表：用于测量整流片的电压、电流、电阻等基本参数，判断整流片的工作状态。
2. 能谱仪：用于检测整流片的能谱，判断整流片的材料成分和质量。
3. 热释电仪：用于检测整流
1. 数字多用表：用于测量整流片的电压、电流、电阻等基本参数，判断整流片的工作状态。
2. 能谱仪：用于检测整流片的能谱，判断整流片的材料成分和质量。
3. 热释电仪：用于检测整流片的热释电效应，判断整流片的材料性能和品质。
4. X射线机：用于检测整流片的内部结构和缺陷，判断整流片是否存在断裂、杂质等缺陷。
5. 显微镜：用于观察整流片的表面和细微结构，判断整流片的制造工艺和表面平整度。
