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文章概述：在真空除气检测中，常用的仪器包括：
1. 真空泵：用于产生和维持所需真空度的泵，可分为机械真空泵、根油泵、分子泵等。
2. 压力传感器：测量真空度的传感器，常用的有热阴极离子活性传
在真空除气检测中，常用的仪器包括：
1. 真空泵：用于产生和维持所需真空度的泵，可分为机械真空泵、根油泵、分子泵等。
2. 压力传感器：测量真空度的传感器，常用的有热阴极离子活性传感器、压电传感器等。
3. 高真空计：用于测量被测物体所处的真空度，常用的有热阴极离子规、栅栏离子泵、毛细管真空计等。
4. 漏气检测仪：用于检测真空系统中的漏气点，常用的有氦气检漏仪、质谱检漏仪等。
5. 气体分析仪：用于分析真空系统中气体成分的仪器，常用的有质谱仪、气相色谱仪等。
