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文章概述：1. 超声波测厚仪：用于测量障板的厚度，通过发送超声波并测量回波时间以计算厚度。
2. 显微镜：用于观察障板表面的微观结构，检查是否存在缺陷或损坏。
3. X射线探测仪：可以用于检测
1. 超声波测厚仪：用于测量障板的厚度，通过发送超声波并测量回波时间以计算厚度。
2. 显微镜：用于观察障板表面的微观结构，检查是否存在缺陷或损坏。
3. X射线探测仪：可以用于检测障板内部的缺陷，如裂纹、夹杂物等。
4. 温湿度计：用于测量环境中的温度和湿度，以确定是否满足障板使用的环境要求。
