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文章概述：真空计是一种用于测量气体压力或真空度的仪器，其工作原理根据气体分压的变化来确定压力或真空度。
常见的真空计有以下几种：
1. 热阴极离子真空计：利用电子轰击气体分子产生离
真空计是一种用于测量气体压力或真空度的仪器，其工作原理根据气体分压的变化来确定压力或真空度。
常见的真空计有以下几种：
1. 热阴极离子真空计：利用电子轰击气体分子产生离子的原理来测量真空度。
2. 磁控溅射源真空计：利用磁场和离子轰击物体的原理，通过测量轰击体发射的电子流来测量真空度。
3. 煤气质量流量计：通过流经设备的气体质量来推算出气体的压力和压力差。
4. 焦耳热电离真空计：利用离子化效应及热电势差来测量气体的压力或真空度。
5. 机械式压力计：如压力表、压力计等，通过测量柱体或弹性元件的形变来间接测量气体的压力。
