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文章概述：真空分离器普遍使用的检测仪器包括：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有气压计和热电偶真空计。
2.气体分析仪：用于检测真空中的气体成分和浓度，常见的有质谱仪、气体色谱仪
真空分离器普遍使用的检测仪器包括：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有气压计和热电偶真空计。
2.气体分析仪：用于检测真空中的气体成分和浓度，常见的有质谱仪、气体色谱仪等。
3.漏气检测仪：用于检测真空系统的漏气问题，常见的有氦气检漏仪、负压泄漏检测仪等。
4.流量计：用于测量真空系统中的气体流量，常见的有质量流量计、体积流量计等。
5.温度计：用于测量真空系统中的温度，常见的有热电偶温度计、红外线温度计等。
6.加热器：用于将真空系统加热以提高蒸发速度，常见的有热板加热器、电阻加热器等。
