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文章概述：真空分离装置检测所用到的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空程度的仪器，常见的有热电离真空计、磁控溅射离子计等。
2. 气体分析仪：用于检测真空系统中气体成分和含量，可采用质谱仪
真空分离装置检测所用到的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空程度的仪器，常见的有热电离真空计、磁控溅射离子计等。
2. 气体分析仪：用于检测真空系统中气体成分和含量，可采用质谱仪、气相色谱仪等。
3. 常规仪器：包括压力计、温度计、流量计等，用于监测真空分离装置的压力、温度、流量等参数。
