检测项目

电子性能检测：

• 焦点位置精度：位置偏差≤±0.05μm（参照ISO 10110）
• 电流稳定性：波动幅度≤1%（如：束流密度均匀性≥98%）
• 电压控制精度：输出偏差±0.1kV（参照IEC 60601）

• 振动耐受性：振幅≤5μm（频率范围10-1000Hz）
• 结构变形量：热膨胀系数≤5×10^{-6}/K（如：屈服强度≥355MPa）

• 温度循环稳定性：温漂≤0.5%/°C
• 散热效率：热阻≤0.1°C/W

• 辐射泄漏率：剂量率≤0.1μSv/h（参照ISO 4037）
• 束流穿透深度：深度偏差±5μm（如：穿透均匀性≥95%）

• 湿度耐受：RH 95%下稳定运行≥100h（参照MIL-STD-810）
• 真空密封性：泄漏率≤1×10^{-9} Pa·m³/s

• 绝缘电阻：阻值≥100MΩ（电压测试5kV）
• 过载保护响应时间：≤10ms（如：触发阈值≥110%额定值）

• 寿命加速试验：MTBF≥10,000小时（温度85°C）
• 故障率统计：失效次数≤1/1000 cycles

• 透镜透光率：透射率≥99.5%（波长400-700nm）
• 衍射精度：角度偏差≤0.01°（如：分辨率≥1μm）

• EMI干扰抑制：辐射发射≤30dBμV/m（频率30MHz-1GHz）
• ESD抗扰度：耐受电压±8kV（参照IEC 61000）

• 基准重复性：误差≤0.01%（参照ISO 17025）
• 线性度验证：非线性偏差≤0.05%FS

检测范围

1. 阴极射线管材料： 钨基阴极组件，重点检测电子发射效率和热稳定性

2. 高压绝缘材料： 陶瓷绝缘体，侧重击穿电压验证和表面平整度评估

3. 真空密封组件： 金属-玻璃封接件，检测真空泄漏率和热循环耐久性

4. 聚焦透镜系统： 电磁透镜阵列，聚焦精度和磁场均匀性为核心检测点

5. 电子束偏转单元： 偏转线圈组件，评估偏转角度精度和响应时间

6. 冷却系统材料： 铜基散热片，热传导率和耐腐蚀性为主要检测项目

7. 辐射屏蔽材料： 铅复合屏蔽层，辐射吸收率和结构完整性为重点

8. 控制系统电子元件： PCB电路板，信号完整性和电磁兼容性检测

9. 电源供应模块： 高压直流电源，输出稳定性和效率验证

10. 整体装配单元： 整机集成系统，综合性能匹配和环境适应性测试

检测方法

国际标准：

• ISO 10110-7:2022 光学元件表面精度测试
• IEC 60601-2-1:2020 医用电子加速器安全要求
• ISO 4037:2019 辐射防护剂量测量
• MIL-STD-810H:2019 环境测试方法
• IEC 61000-4-2:2021 静电放电抗扰度试验

• GB/T 10247-2008 电子束设备通用技术条件
• GB/T 2423.1-2022 电工电子产品环境试验
• GB 4943.1-2022 信息技术设备安全
• GB/T 17626.2-2022 电磁兼容试验
• GB/T 5170.1-2021 电子测量仪器通用规范

检测设备

1. 电子束分析仪： EB-5000型（分辨率0.01μm，电流范围0.1-100mA）

2. 高精度电流计： HPC-10K型（精度±0.01%，带宽DC-10MHz）

3. 激光干涉仪： LIS-2000型（测量精度±0.005μm，波长632.8nm）

4. 振动测试台： VTS-300型（频率范围5-5000Hz，最大载荷50kg）

5. 温度循环箱： TCX-100型（温控范围-70°C至+180°C，波动±0.5°C）

6. 辐射剂量计： RD-8000型（检测限0.01μSv/h，能量响应10keV-10MeV）

7. 真空泄漏检测仪： VLD-5型（灵敏度1×10^{-10} Pa·m³/s，压力范围10^{-9}-10^{5} Pa）

8. 高压绝缘测试仪： HVT-20KV型（测试电压0-20kV，精度±0.5%）

9. 电磁兼容测试系统： EMC-3000型（频率范围30MHz-6GHz，动态范围120dB）

10. 热成像仪： TI-50型（分辨率640×480，温度范围-20°C至+1500°C）

11. 寿命测试台： LTT-10000型（加速因子≥10，MTBF计算误差≤1%）

12. 光学透射仪： OT-98型（波长范围200-1100nm，精度±0.1%）

13. 信号发生器： SG-200型（输出频率1Hz-1GHz，幅度精度±0.1dB）

14. 精密显微镜： PM-100X型（放大倍数50-1000X，分辨率0.1μm）

15. 校准源： CS-500型（稳定性≤0.01%/年，输出可调范围0-100%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。