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文章概述：真空储蓄器检测常用的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空储蓄器内部的真空度，常见的有热导式真空计、离子真空计等。
2. 压力计：用于测量真空储蓄器内部的压力，常见的有压力传感器、
真空储蓄器检测常用的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空储蓄器内部的真空度，常见的有热导式真空计、离子真空计等。
2. 压力计：用于测量真空储蓄器内部的压力，常见的有压力传感器、差压传感器等。
3. 气体分析仪：用于分析真空储蓄器内部的气体成分和含量，常见的有气相色谱仪、质谱仪等。
4. 泄漏检测仪：用于检测真空储蓄器是否存在泄漏，常见的有氦气泄漏检测仪、湿度检测仪等。
5. 温度计：用于测量真空储蓄器内部的温度，常见的有热电偶、红外线测温仪等。
