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文章概述：1. 气体成分检测：使用气体分析仪或质谱仪等设备，对真空中的气体成分进行分析，确定是否存在杂质或有害气体。
2. 真空度检测：使用真空计或其他真空度检测仪器，测试真空系统的真空
1. 气体成分检测：使用气体分析仪或质谱仪等设备，对真空中的气体成分进行分析，确定是否存在杂质或有害气体。
2. 真空度检测：使用真空计或其他真空度检测仪器，测试真空系统的真空度，以确定真空提纯效果。
3. 热释放气体检测：对提纯过程中有可能产生的热释放气体，如挥发性有机物等进行检测，确保真空环境安全。
4. 水分检测：使用水分分析仪或湿度计等设备，对真空中的水分含量进行测量，确保真空干燥。
5. 粒子污染检测：使用粒子计数器或粒子计数仪等设备，检测真空系统中的微观颗粒污染，保证真空质量。
