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文章概述：真空严密性试验检测常用的仪器有：
1.真空泵：用于产生、维持和测量真空状态的设备，常见的有机械泵、分子泵、扩散泵等。
2.真空质谱仪：用于检测真空系统中气体成分的仪器，能够定性
真空严密性试验检测常用的仪器有：
1.真空泵：用于产生、维持和测量真空状态的设备，常见的有机械泵、分子泵、扩散泵等。
2.真空质谱仪：用于检测真空系统中气体成分的仪器，能够定性和定量地分析气体组分。
3.压力计：主要用于测量真空系统中的压力值，如精密气体压力计、电容式压力计等。
4.氦质谱检漏仪：用于检测真空系统中的泄漏情况，通过注入氦气并利用质谱原理来定位和定量漏点。
5.气体漏斗：用于检测真空系统中的泄漏情况，通过气体泄漏产生的气泡或气体流动来判断漏点位置和大小。
6.密封性检测仪器：包括密封测试仪和密度测试仪，用于检测真空系统中的密封性能。
