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文章概述：增压真空泵检测主要用到的仪器有：
1.真空度计：用于测量增压真空泵产生的真空度。
2.压力计：用于检测增压真空泵的出口压力。
3.流量计：用于测量增压真空泵的流量。
4.温度计：用于
增压真空泵检测主要用到的仪器有：
1.真空度计：用于测量增压真空泵产生的真空度。
2.压力计：用于检测增压真空泵的出口压力。
3.流量计：用于测量增压真空泵的流量。
4.温度计：用于测量增压真空泵的温度。
5.振动测量仪：用于检测增压真空泵的振动情况。
