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文章概述：真空脱气炉是一种用于去除材料中气体的装置。常用的真空脱气炉检测仪器有：
1. 真空度检测仪器：用于测量真空脱气炉中的真空度，常见的有压力式真空规和量子式真空规。
2. 气体分
真空脱气炉是一种用于去除材料中气体的装置。常用的真空脱气炉检测仪器有：
1. 真空度检测仪器：用于测量真空脱气炉中的真空度，常见的有压力式真空规和量子式真空规。
2. 气体分析仪：用于分析脱气过程中产生的气体组成和浓度，例如气体质谱仪和红外光谱仪。
3. 温度控制仪器：用于监控和调节真空脱气炉中的温度，保证在合适的温度范围内进行脱气。常见的有热电偶和红外温度计。
4. 压力控制仪器：用于控制真空脱气炉中的压力，保持在适当的范围内。常见的有压力控制器和压力表。
5. 流量计：用于测量和控制真空脱气炉中的气体流量，保证脱气的正常进行。常见的有浮子流量计和质量流量计。
6. 加热设备：用于提供真空脱气炉中的加热能源，常见的有电加热器和加热炉。
