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文章概述：真空检漏试验是一种用来检测物体或设备内部是否存在泄漏的方法。以下是常用于真空检漏试验的仪器：
1. 真空泵：用于将被测试物体或设备抽空到所需要的真空度。
2. 压力表：用于测
真空检漏试验是一种用来检测物体或设备内部是否存在泄漏的方法。以下是常用于真空检漏试验的仪器：
1. 真空泵：用于将被测试物体或设备抽空到所需要的真空度。
2. 压力表：用于测量真空系统的压力，判断是否存在泄漏。
3. 真空计：可以测量真空度的仪器，如扩散计、热阴极离子计等。
4. 漏气检测仪：用于检测泄漏气体的仪器，如气体质谱仪、氦质谱仪等。
5. 漏气检测罩：用来将被测试物体或设备包裹起来，形成一个封闭的空间，以便进行泄漏检测。
