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文章概述：真空除气器检测主要用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空泵抽取的气体压力，常见的真空计有压力式真空计、热阴极离子化真空计、电离真空计等。
2. 气体分析仪：用于分析真空室中
真空除气器检测主要用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空泵抽取的气体压力，常见的真空计有压力式真空计、热阴极离子化真空计、电离真空计等。
2. 气体分析仪：用于分析真空室中的气体成分和浓度，常见的气体分析仪有质谱仪、红外气体分析仪、激光气体检测仪等。
3. 气体稀释系统：用于将高浓度气体稀释成适宜的浓度进行测试，常见的气体稀释系统有气体稀释器、稀释泵等。
4. 泄漏检测仪：用于检测真空系统中的泄漏点，并定位泄漏位置，常见的泄漏检测仪有红外泄漏检测仪、质谱泄漏仪等。
