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文章概述：真空压制检测主要用于检测设备或系统中的真空密封性能。常用的仪器包括：
1. 真空计：用于测量真空系统中的真空度。常见的真空计有热阴极离子计、热阴极宽频离子计、栅极电子倍
真空压制检测主要用于检测设备或系统中的真空密封性能。常用的仪器包括：
1. 真空计：用于测量真空系统中的真空度。常见的真空计有热阴极离子计、热阴极宽频离子计、栅极电子倍增器等。
2. 真空泵：用于将设备或系统中的气体抽出，以达到所需的真空度。常见的真空泵有机械泵、根泵、分子泵等。
3. 漏率检测仪：用于检测设备或系统中的气体泄漏情况。常用的漏率检测仪有翻转法漏率检测仪、干热法漏率检测仪、质谱法漏率检测仪等。
