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文章概述：1.真空测量仪器：用于测量真空罐中的真空度，常用的仪器包括真空计、离子阱真空计、毛细压力计等。
2.漏气检测仪器：用于检测真空管是否存在泄漏现象，常用的仪器包括氦质谱漏气仪
1.真空测量仪器：用于测量真空罐中的真空度，常用的仪器包括真空计、离子阱真空计、毛细压力计等。
2.漏气检测仪器：用于检测真空管是否存在泄漏现象，常用的仪器包括氦质谱漏气仪、氦检漏仪等。
3.压力测试仪器：用于测试真空罐内部压力的仪器，常用的仪器包括压力表、数字压力计等。
