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文章概述：真空提龋检测是一种检测零件内部存在的气体和污染物的方法。以下是常用的仪器：
1. 真空检测仪：用于测量零件内的真空度，如真空表、压力传感器等。
2. 气体检测仪：用于检测零件内
真空提龋检测是一种检测零件内部存在的气体和污染物的方法。以下是常用的仪器：
1. 真空检测仪：用于测量零件内的真空度，如真空表、压力传感器等。
2. 气体检测仪：用于检测零件内气体成分和浓度，如气体分析仪、气体色谱仪等。
3. 污染物检测仪：用于检测零件内的污染物，如有毒气体检测仪、颗粒物检测仪等。
4. 清洗设备：用于清洗零件，以去除可能存在的污染物，如真空清洗机、超声波清洗器等。
