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文章概述：真空下降检测常用的仪器有：
1. 真空度测试仪：用于测量真空系统的真空度，常见的有化学气相沉积(CVD)用红外线波谱仪、电子束蒸镀系统用离子化率计等。
2. 压力传感器：用于监测真
真空下降检测常用的仪器有：
1. 真空度测试仪：用于测量真空系统的真空度，常见的有化学气相沉积(CVD)用红外线波谱仪、电子束蒸镀系统用离子化率计等。
2. 压力传感器：用于监测真空系统的气体压力，常见的有微小容积漏率检测仪用的蠕动泵、力锐式真空计等。
3. 高真空检漏仪：用于检测真空系统中的泄漏，常见的有质谱湿式检漏仪、质谱干式检漏仪等。
