检测项目

1.栅距精度：栅距偏差，栅距均匀性，累积误差等。

2.透过率：峰透过率，谷透过率，对比度等。

3.衍射效率：一级衍射效率，衍射级次，衍射角等。

4.槽形参数：槽深，槽宽，槽形角等。

5.分辨率：分辨能力，截止频率，调制传递等。

6.位置精度：栅线位置，栅线直线度，栅线平行度等。

7.均匀性：光学均匀性，密度均匀性，反射均匀性等。

8.温度稳定性：热膨胀系数，温度漂移，热稳定性等。

9.表面质量：表面粗糙度，划痕麻点，镀膜质量等。

10.耐久性：耐磨性，耐腐蚀，环境稳定性等。

检测范围

原材料样品、半成品样品、成品样品、部件样品、组件样品、元件样品、加工样品、试制样品、量产样品、召回样品、环境模拟样品、失效复现样品、对比基准样品、批量随机样品、客户送检样品

检测仪器

1.衍射光栅测试仪：用于衍射效率测量；支持多波长与多角度扫描。

2.激光干涉仪：用于栅距与位置精度测量；支持纳米级位移测量。

3.分光光度计：用于透过率光谱测量；支持宽光谱扫描。

4.原子力显微镜：用于槽形三维测量；支持纳米级表面形貌。

5.光学显微镜：用于栅线表面观察；支持明场与暗场成像。

6.轮廓仪：用于槽深槽宽测量；支持非接触式光学轮廓。

7.光学平台与测角仪：用于衍射角测量；支持高精度角度旋转。

8.环境试验箱：用于温度稳定性测试；支持控温与高低温循环。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。