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文章概述：真空电弧检测常用的仪器有：
1. 真空度测试仪：用于测量真空室的真空度，通常采用热阴极式或离子阱式真空度测试仪。
2. 电弧探测器：用于检测真空室内是否存在电弧现象，常用的电弧探
真空电弧检测常用的仪器有：
1. 真空度测试仪：用于测量真空室的真空度，通常采用热阴极式或离子阱式真空度测试仪。
2. 电弧探测器：用于检测真空室内是否存在电弧现象，常用的电弧探测器有光谱电弧探测器和超声波电弧探测器。
3. 高压测试仪：用于测试真空室内的高压情况，以确保安全。
