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文章概述：遮光栅格检测主要用于检测遮光栅格的质量和性能。
常用的仪器有：
1、光谱分析仪：用于测量遮光栅格的光学性能指标，如透过率、反射率等。
2、显微镜：用于观察遮光栅格的表面缺陷
遮光栅格检测主要用于检测遮光栅格的质量和性能。
常用的仪器有：
1、光谱分析仪：用于测量遮光栅格的光学性能指标，如透过率、反射率等。
2、显微镜：用于观察遮光栅格的表面缺陷、形状和结构。
3、电子显微镜：用于观察遮光栅格的微观结构和颗粒分布。
4、光学显微镜：用于观察遮光栅格的表面形貌和缺陷。
5、扫描电镜：用于观察遮光栅格的表面形貌和微观结构。
6、X射线衍射仪：用于分析遮光栅格的晶体结构和晶格参数。
