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文章概述：真空严密性检测可使用以下仪器：
1. 真空泵：用于建立和维持测试环境中的真空。
2. 真空计：用于测量测试环境中的真空水平，常用的有扩散压力计、热阴极离子化真空计等。
3. 漏气检
真空严密性检测可使用以下仪器：
1. 真空泵：用于建立和维持测试环境中的真空。
2. 真空计：用于测量测试环境中的真空水平，常用的有扩散压力计、热阴极离子化真空计等。
3. 漏气检测仪：用于检测封闭系统是否存在气体泄漏，常用的有气体检测仪、质谱检测仪等。
