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文章概述：真空度检测常用的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空系统的压强，常见的有玻璃密封式压力计、热电式压力计、扩散式压力计等。
2. 管式真空计：通过测量气体导电性来获得真空度的仪器
真空度检测常用的仪器有：
1. 真空计：用于测量真空系统的压强，常见的有玻璃密封式压力计、热电式压力计、扩散式压力计等。
2. 管式真空计：通过测量气体导电性来获得真空度的仪器，适用于大气压至高真空度之间的范围。
3. 电离真空计：通过测量空气中离子产生的电流来获得真空度的仪器，适用于高真空度和超高真空度的测量。
4. 质谱仪：通过测量气体分子的质量和相对丰度来获得真空度的仪器，适用于超高真空度的测量。
