真空净化检测通常涉及对真空系统中的污染物进行分析和评估，以确保系统的清洁度和性能。

颗粒计数测试：使用光学或电子仪器测量真空系统中的微粒数量和大小。

总烃含量（THC）测试：测定真空系统中总烃类化合物的含量，通常用于评估有机污染物。

水分检测：通过湿度传感器或露点测量，评估真空系统中的水分含量。

油分检测：使用红外光谱或其他化学分析方法，测量真空系统中的油分含量。

金属污染检测：通过原子吸收光谱或感应耦合等离子体质谱（ICP-MS）等技术，检测金属污染物。

非金属污染检测：使用化学分析或物理方法，检测真空系统中的非金属污染物。

真空度测量：使用皮拉尼计、热电偶或冷阴极等仪器，测量真空系统的真空度。

压力测量：通过压力传感器或压力计，测量真空系统中的压力水平。

泄漏检测：使用氦质谱检漏仪或其他检漏方法，检测真空系统中的泄漏点。

泵油性能测试：评估真空泵油的粘度、闪点和抗氧化性能。

泵油污染度测试：检测泵油中的污染物，如颗粒、水分和化学成分。

泵油更换周期评估：根据泵油的污染程度和性能变化，评估其更换周期。

泵油再生处理：对使用过的泵油进行再生处理，以去除污染物并恢复性能。

系统清洁度评估：综合考虑各种污染物的测试结果，评估真空系统的清洁度。

系统性能测试：通过模拟实际工况，测试真空系统的整体性能。

材料相容性测试：评估真空系统中使用的密封材料、润滑剂等与泵油的相容性。

系统清洗验证：验证真空系统清洗过程的有效性，确保污染物被有效去除。

系统维护周期评估：根据系统污染程度和性能变化，评估系统的维护周期。

系统故障分析：通过检测分析，确定真空系统故障的原因。

系统设计评估：评估真空系统设计是否满足特定应用的净化要求。

操作人员培训：提供真空系统操作和维护的培训，以减少人为污染。

清洁操作规程制定：制定和优化真空系统的清洁操作规程。

污染物来源分析：分析真空系统中污染物的来源，以采取预防措施。

系统改造建议：根据检测结果，提出系统改造和优化的建议。

环境控制评估：评估真空系统所在环境对系统清洁度的影响。

系统认证测试：进行真空系统的认证测试，以满足特定行业标准或规范。