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文章概述：1. 外观检测：对圆片进行目视检查，观察表面是否有瑕疵、划痕、凹凸等问题。
2. 尺寸测量：使用测量仪器（如卡尺、显微镜等）对圆片的直径、厚度等尺寸进行精确测量。
3. 平面度测量：
1. 外观检测：对圆片进行目视检查，观察表面是否有瑕疵、划痕、凹凸等问题。
2. 尺寸测量：使用测量仪器（如卡尺、显微镜等）对圆片的直径、厚度等尺寸进行精确测量。
3. 平面度测量：使用平面度测量仪器对圆片的平面度进行测量，以确定其表面是否平整。
4. 表面粗糙度测量：使用表面粗糙度仪器（如表面粗糙度计）对圆片的表面粗糙度进行测量，以了解其表面的光滑程度。
5. 透明度测试：使用透光仪或光谱仪对圆片的透明度进行测量，以确定其透光性能。
