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文章概述：原子吸收光谱仪：用于检测稀土元素的含量。
X 射线荧光光谱仪：可快速分析稀土硅中的元素组成。
电感耦合等离子体发射光谱仪：能准确测定稀土硅中的多种元素。
分光光度计：用于检
原子吸收光谱仪：用于检测稀土元素的含量。
X 射线荧光光谱仪：可快速分析稀土硅中的元素组成。
电感耦合等离子体发射光谱仪：能准确测定稀土硅中的多种元素。
分光光度计：用于检测稀土硅中的特定元素。
电子探针：可进行微区成分分析。
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