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文章概述：载流子输送检测常用的仪器有：
1. 阻抗分析仪：用于测量电子和空穴在半导体中的迁移率和寿命。
2. Hall效应测量系统：通过测量电场和磁场对载流子的影响，来确定载流子类型、浓度和
载流子输送检测常用的仪器有：
1. 阻抗分析仪：用于测量电子和空穴在半导体中的迁移率和寿命。
2. Hall效应测量系统：通过测量电场和磁场对载流子的影响，来确定载流子类型、浓度和迁移率。
3. 电子迁移率测试仪：用于测量电子在半导体中的迁移率，并计算电子的流动能力。
4. 空穴迁移率测试仪：用于测量空穴在半导体中的迁移率，并计算空穴的流动能力。
5. 探针站：用于测量半导体器件的电流、电压和频率响应等参数，以研究载流子的输送性能。
