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文章概述：吸杂检测主要用于评估材料的吸杂能力和杂质去除效果。常见的吸杂检测对象包括但不限于：半导体材料：如硅片、锗片等。金属材料：如铝、铜等。陶瓷材料：如氧化铝、氧化锆等。高分子
吸杂检测主要用于评估材料的吸杂能力和杂质去除效果。
常见的吸杂检测对象包括但不限于：
半导体材料：如硅片、锗片等。
金属材料：如铝、铜等。
陶瓷材料：如氧化铝、氧化锆等。
高分子材料：如聚乙烯、聚丙烯等。
复合材料：如碳纤维增强复合材料等。
玻璃材料：如石英玻璃、硼硅玻璃等。
