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文章概述：真空检测仪器主要用于对真空罩的真空度进行检测，常见的仪器有：
1. 真空计：能够测量真空罩内的气体压力，包括热离子、热电子、热阴极、扩散、毛细管等多种类型。
2. 气体分析仪：用
真空检测仪器主要用于对真空罩的真空度进行检测，常见的仪器有：
1. 真空计：能够测量真空罩内的气体压力，包括热离子、热电子、热阴极、扩散、毛细管等多种类型。
2. 气体分析仪：用于检测真空罩内气体组成的仪器，可以测量气体的浓度、成分等参数。
3. 漏气检测仪器：用于检测真空罩内是否存在气体泄漏，包括漏气检测仪、质谱仪等。
4. 温度计：用于测量真空罩内的温度，可以选择不同类型的温度计，如热电阻、温度计、红外线温度计等。
5. 压差计：可以检测真空罩内外的气压差异，用于评估真空罩的密封性能。
