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文章概述：真空计：用于测量吸气剂离子泵内部的真空度。
质谱仪：可分析吸气剂离子泵抽取的气体成分。
氦质谱检漏仪：检测吸气剂离子泵的泄漏情况。
电流计：测量吸气剂离子泵的工作电流。
电
真空计：用于测量吸气剂离子泵内部的真空度。
质谱仪：可分析吸气剂离子泵抽取的气体成分。
氦质谱检漏仪：检测吸气剂离子泵的泄漏情况。
电流计：测量吸气剂离子泵的工作电流。
电压计：检测吸气剂离子泵的工作电压。
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