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文章概述：氦质谱检漏仪：用于检测吸气剂泵的泄漏情况。
真空计：测量吸气剂泵的真空度。
气体分析仪：分析吸气剂泵处理后的气体成分。
热导检测器：检测吸气剂泵对气体的吸附和解吸性能。
压
氦质谱检漏仪：用于检测吸气剂泵的泄漏情况。
真空计：测量吸气剂泵的真空度。
气体分析仪：分析吸气剂泵处理后的气体成分。
热导检测器：检测吸气剂泵对气体的吸附和解吸性能。
压力传感器：监测吸气剂泵的压力变化。
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