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文章概述：真空度测量：通过真空计等设备测量吸气剂离子泵内部的真空度。
电流测量：检测吸气剂离子泵工作时的电流大小。
抽气速率测量：确定吸气剂离子泵的抽气速率。
气体成分分析：分析被
真空度测量：通过真空计等设备测量吸气剂离子泵内部的真空度。
电流测量：检测吸气剂离子泵工作时的电流大小。
抽气速率测量：确定吸气剂离子泵的抽气速率。
气体成分分析：分析被抽气体的成分。
外观检查：检查吸气剂离子泵的外观是否有损坏或异常。
