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文章概述：测力计：用于测量吸合力的大小。
压力传感器：检测吸合时的压力变化。
位移传感器：测量吸合部件的位移情况。
真空度测试仪：检测吸合系统的真空度。
示波器：观察吸合过程中的电信号
测力计：用于测量吸合力的大小。
压力传感器：检测吸合时的压力变化。
位移传感器：测量吸合部件的位移情况。
真空度测试仪：检测吸合系统的真空度。
示波器：观察吸合过程中的电信号变化。
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