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文章概述：真空计：用于测量吸附泵的真空度。
氦质谱检漏仪：检测吸附泵是否存在泄漏。
压力传感器：测量吸附泵的压力变化。
温度传感器：监测吸附泵的温度。
气体分析仪：分析吸附泵吸附的气体
真空计：用于测量吸附泵的真空度。
氦质谱检漏仪：检测吸附泵是否存在泄漏。
压力传感器：测量吸附泵的压力变化。
温度传感器：监测吸附泵的温度。
气体分析仪：分析吸附泵吸附的气体成分。
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