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文章概述：流量检测：质量流量控制器，用于测量雾化器的气体流量。
压力检测：压力传感器，用于测量雾化器的气体压力。
颗粒大小检测：激光粒度仪，用于测量雾化器产生的颗粒大小分布。
浓度检测：
流量检测：质量流量控制器，用于测量雾化器的气体流量。
压力检测：压力传感器，用于测量雾化器的气体压力。
颗粒大小检测：激光粒度仪，用于测量雾化器产生的颗粒大小分布。
浓度检测：气体分析仪，用于测量雾化器产生的气体浓度。
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