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文章概述：真空恶化检测通常使用真空度检测仪器来实现。以下是一些常用的真空度检测仪器：
1. 热电离真空度计：根据离子化现象来测量真空度，适用于中高真空范围。
2. 磁控溅射离子规真空度
真空恶化检测通常使用真空度检测仪器来实现。以下是一些常用的真空度检测仪器：
1. 热电离真空度计：根据离子化现象来测量真空度，适用于中高真空范围。
2. 磁控溅射离子规真空度计：通过测量溅射电流来确定真空度，适用于中高真空范围。
3. 低温槽真空度计：利用低温槽的温度变化与真空度之间的关系来测量真空度，适用于超高真空范围。
4. 气体质谱仪：通过检测气体中不同质量的离子来确定真空度，适用于中高真空范围。
这些仪器可以根据不同的需求选择合适的方式来进行真空度的检测和分析。
