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文章概述：电子显微镜：可用于观察和分析物镜台的微观结构和表面形貌。
激光干涉仪：用于测量物镜台的平整度和位移精度。
光学显微镜：可对物镜台进行初步的外观检查和尺寸测量。
三坐标测
电子显微镜：可用于观察和分析物镜台的微观结构和表面形貌。
激光干涉仪：用于测量物镜台的平整度和位移精度。
光学显微镜：可对物镜台进行初步的外观检查和尺寸测量。
三坐标测量机：能够精确测量物镜台的三维尺寸和几何形状。
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