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物镜分辨率检测方法

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文章概述:分辨率板检测法:使用分辨率板来评估物镜的分辨率。通过观察分辨率板上的细节,确定物镜能够清晰分辨的最小线对或图案。
点扩散函数测量:测量物镜对点光源的成像效果,通过分析点

分辨率板检测法:使用分辨率板来评估物镜的分辨率。通过观察分辨率板上的细节,确定物镜能够清晰分辨的最小线对或图案。

点扩散函数测量:测量物镜对点光源的成像效果,通过分析点扩散函数的宽度和形状来评估分辨率。

调制传递函数测量:通过测量物镜对不同空间频率的调制传递能力来评估分辨率。

对比度测量:比较物镜对不同对比度目标的成像效果,以评估其分辨率和对比度传递能力。

物镜分辨率检测方法
中析研究所

北京中科光析科学技术研究所(简称中析研究所),隶属于北京前沿科学技术研究院,为集体所有制单位,是以科研检测为主的科学技术研究机构。中析研究所坚持基础研究与应用研究并重、应用研究和技术转化相结合,发展为以“任务带学科”为主要特色的综合性研究所。经国家有关部门批准,成为第三方分析测试技术服务单位,旗下实验室机构获得CMA资质认证。开展了研发设计、分析检测、试验验证、共性加工、信息及知识产权等服务,为科技型企业创新提供公共服务。本所得到政府创新基金的支持,被评为国家高新技术企业。

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