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文章概述：电感耦合等离子体质谱仪：用于检测五氟化钽中的痕量元素。
气相色谱-质谱联用仪：可分析五氟化钽中的有机杂质。
傅里叶变换红外光谱仪：用于鉴定五氟化钽的结构和官能团。
X 射线
电感耦合等离子体质谱仪：用于检测五氟化钽中的痕量元素。
气相色谱-质谱联用仪：可分析五氟化钽中的有机杂质。
傅里叶变换红外光谱仪：用于鉴定五氟化钽的结构和官能团。
X 射线衍射仪：分析五氟化钽的晶体结构。
热重分析仪：测定五氟化钽的热稳定性。
