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文章概述：电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：用于检测五氟化铌中的金属杂质。
气相色谱仪（GC）：可用于分析五氟化铌中的有机杂质。
红外光谱仪（IR）：用于检测五氟化铌中的官能团。
X 射线衍射仪（XRD
电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：用于检测五氟化铌中的金属杂质。
气相色谱仪（GC）：可用于分析五氟化铌中的有机杂质。
红外光谱仪（IR）：用于检测五氟化铌中的官能团。
X 射线衍射仪（XRD）：可以分析五氟化铌的晶体结构。
热重分析仪（TGA）：用于研究五氟化铌的热稳定性。
