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文章概述：电子显微镜：用于观察样品的微观结构，检测微小的玷污颗粒。
能谱仪：可分析样品表面的元素组成，帮助确定玷污物质的成分。
原子力显微镜：用于检测样品表面的形貌和粗糙度，以及玷污颗
电子显微镜：用于观察样品的微观结构，检测微小的玷污颗粒。
能谱仪：可分析样品表面的元素组成，帮助确定玷污物质的成分。
原子力显微镜：用于检测样品表面的形貌和粗糙度，以及玷污颗粒的大小和分布。
表面分析仪：可以测量样品表面的化学成分、物理性质和表面能等参数，帮助评估玷污程度。
光学显微镜：适用于观察较大尺寸的玷污颗粒或污渍。
