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文章概述：真空预热检测主要用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空度，常见的有热导式真空计、冷阴极离子化真空计等。
2. 温度计：用于测量预热过程中的温度变化，常见的有热电偶温度计、红外
真空预热检测主要用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量真空度，常见的有热导式真空计、冷阴极离子化真空计等。
2. 温度计：用于测量预热过程中的温度变化，常见的有热电偶温度计、红外温度计等。
3. 压力表：用于测量预热过程中的气压变化，常见的有机械压力表、电子压力表等。
