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文章概述：氦质谱检漏法：检测范围广泛，可检测各种无油真空系统的泄漏。
真空计检测法：通过测量真空度来判断系统是否存在泄漏。
压力变化检测法：观察系统压力的变化来检测泄漏。
气泡检漏
氦质谱检漏法：检测范围广泛，可检测各种无油真空系统的泄漏。
真空计检测法：通过测量真空度来判断系统是否存在泄漏。
压力变化检测法：观察系统压力的变化来检测泄漏。
气泡检漏法：适用于检测较大的泄漏点。
红外热成像检测法：可检测出真空系统中的热泄漏。
