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文章概述：X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和缺陷，包括位错。
电子显微镜：可以观察材料的微观结构，包括位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于检测表面形貌和缺陷，包括位错。
拉曼光谱仪：可以
X 射线衍射仪：用于检测晶体结构和缺陷，包括位错。
电子显微镜：可以观察材料的微观结构，包括位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于检测表面形貌和缺陷，包括位错。
拉曼光谱仪：可以分析材料的化学键和结构，间接检测位错。
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