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文章概述：电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）：用于检测无水三氯化镓中的金属杂质。
气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：可用于检测无水三氯化镓中的有机杂质。
X 射线衍射仪（XRD）：用于分析无水三氯
电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）：用于检测无水三氯化镓中的金属杂质。
气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：可用于检测无水三氯化镓中的有机杂质。
X 射线衍射仪（XRD）：用于分析无水三氯化镓的晶体结构。
热重分析（TGA）：可用于测定无水三氯化镓的热稳定性。
水分测定仪：用于检测无水三氯化镓中的水分含量。
