物理汽相淀积检测通常包括对淀积薄膜的物理、化学和电学性能的测试，以确保其质量和性能符合特定的要求。

薄膜厚度测量：通过各种方法，如椭圆偏振仪、反射光谱等，确定薄膜的厚度。

表面粗糙度测量：评估薄膜表面的平整度和粗糙度。

成分分析：如 X 射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）等，确定薄膜的元素组成和化学状态。

结晶度测试：通过 X 射线衍射（XRD）等方法，分析薄膜的结晶程度。

应力测试：测量薄膜在淀积过程中产生的应力。

附着力测试：评估薄膜与基底之间的结合强度。

电学性能测试：如电阻率、电容率等，确定薄膜的电学特性。

光学性能测试：如透过率、反射率等，评估薄膜的光学性能。

硬度测试：测量薄膜的硬度。

热稳定性测试：评估薄膜在高温环境下的稳定性。

耐腐蚀性测试：检测薄膜对化学物质的抵抗能力。

摩擦系数测试：评估薄膜表面的摩擦特性。

颗粒污染测试：检查薄膜表面的颗粒污染情况。

台阶覆盖率测试：测量薄膜在台阶结构上的覆盖程度。

均匀性测试：评估薄膜在整个表面上的厚度和性能均匀性。

缺陷检测：如针孔、裂纹等，检查薄膜中的缺陷。

密度测试：测量薄膜的密度。

热导率测试：确定薄膜的热传导性能。

介电常数和介电损耗测试：测量薄膜在电场中的存储和耗散电能能力。

击穿电压测试：评估薄膜的绝缘性能。

漏电流测试：检测薄膜中的漏电流。

耐湿性测试：评估薄膜在潮湿环境下的性能。

耐氧化性测试：检测薄膜对氧化的抵抗能力。

耐辐射性测试：评估薄膜在辐射环境下的稳定性。

磁性能测试：如磁化率等，测量薄膜的磁性能。

光学常数测试：确定薄膜的光学常数，如折射率和消光系数。

颜色测试：评估薄膜的颜色特性。

光泽度测试：测量薄膜表面的光泽度。

迁移率测试：评估薄膜中载流子的迁移率。