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文章概述：傅里叶变换红外光谱仪：用于分析光刻胶中的化学键和官能团。
X 射线衍射仪：可检测光刻胶的晶体结构。
扫描电子显微镜：用于观察光刻胶的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：能够
傅里叶变换红外光谱仪：用于分析光刻胶中的化学键和官能团。
X 射线衍射仪：可检测光刻胶的晶体结构。
扫描电子显微镜：用于观察光刻胶的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：能够提供光刻胶表面的高分辨率图像。
热重分析仪器：分析光刻胶的热稳定性和成分。
紫外可见分光光度计：测量光刻胶的光学性质。
