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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析材料的晶体结构，确定无定形碳化硅的存在。
扫描电子显微镜：可观察无定形碳化硅的表面形貌和微观结构。
拉曼光谱仪：用于检测无定形碳化硅的分子结构和化学
X 射线衍射仪：用于分析材料的晶体结构，确定无定形碳化硅的存在。
扫描电子显微镜：可观察无定形碳化硅的表面形貌和微观结构。
拉曼光谱仪：用于检测无定形碳化硅的分子结构和化学键。
热重分析仪：可分析无定形碳化硅的热稳定性和热分解行为。
元素分析仪：用于测定无定形碳化硅中的元素组成。
