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文章概述：三坐标测量机：用于检测零件的几何形状、尺寸和位置精度。
激光干涉仪：可测量机床的直线度、垂直度、平行度等几何误差。
球杆仪：用于检测机床的圆度、圆柱度等误差。
粗糙度仪：
三坐标测量机：用于检测零件的几何形状、尺寸和位置精度。
激光干涉仪：可测量机床的直线度、垂直度、平行度等几何误差。
球杆仪：用于检测机床的圆度、圆柱度等误差。
粗糙度仪：测量零件表面的粗糙度。
硬度计：检测零件的硬度。
卡尺、千分尺等量具：用于测量零件的尺寸。
