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文章概述：真空闸检测通常需要使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空闸所处环境的真空度。一般使用热阴极或冷阴极真空度计来进行测量。
2. 漏气检测仪：用于检测真空闸的漏气情况。
真空闸检测通常需要使用以下仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量真空闸所处环境的真空度。一般使用热阴极或冷阴极真空度计来进行测量。
2. 漏气检测仪：用于检测真空闸的漏气情况。常见的漏气检测仪有质谱仪、氦质谱检漏仪等。
3. 扭矩测试仪：用于测量真空闸的扭矩特性，包括启动扭矩、静态扭矩、动态扭矩等。
4. 冷却水流量计：用于监测真空闸的冷却水流量，以确保真空闸在正常工作温度下运行。
5. 电气测试仪：用于测试真空闸的电气特性，例如电流、电压、功率等。
